，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定
。 缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充
。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?div id="d48novz" class="flower left">
？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。 優(yōu)點(diǎn)：管理容易
，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)
，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高
，彈性運(yùn)用空間困難
，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩
。
3.復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)充容易；維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。 另外還有潔凈工作臺(tái)和潔凈工作棚等。
潔凈室的構(gòu)成
潔凈室的一般構(gòu)成包括：
(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁、天花板格子梁
。
(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等
。
(3)隔墻板：包括窗戶、門。
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
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，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi) ，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用 ，一般其潔凈室等級為Class1-100 。其型式可分為二種：
，塵埃隨風(fēng)向排出室外 ，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單 ，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定 。 缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。 優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。